【关于和记娱乐官网】干涉光刻:精密微纳加工的新利器
1. 什么是干涉光刻? 干涉光刻是一种利用干涉光学原理进行微纳加工的技术。它通过将两束光交叉,形成干涉图案,再将其投射到光敏材料上进行曝光,从而实现微米甚至纳米级别的精密加工。 2. 干涉光刻的优势 干涉光刻相较于传统的光刻技术,具有高分辨率、高精度、高可靠性等优势。其分辨率可达到亚微米甚至纳米级别,适用于制造微纳器件、光学元件、生物芯片等高精度加工领域。 3. 干涉光刻的原理 干涉光刻的原理是利用两束光的干涉效应,形成干涉图案,再将其投射到光敏材料上进行曝光。其中,一束光为参考光,另一束光为